一种多功能纳米真空镀膜仪
专利申请权、专利权的转移
摘要

本实用新型涉及一种多功能纳米真空镀膜仪,包括真空腔体,所述真空腔体内设置有样品台、蒸镀源,所述样品台位于真空腔体内的上方、所述蒸镀源位于真空腔体内的下方,所述样品台由翻转机构驱动其能翻转180°,所述蒸镀源内填充有镀膜材料,所述蒸镀源的顶部设置有开孔,所述开孔上端的孔径小于下端的孔径,所述挡板设置在样品台与蒸镀源之间,所述挡板的一侧设置有平移机构,所述平移机构能驱动挡板远离样品台、蒸镀源之间。本实用新型能对基片的两面进行镀膜、增加原材料有效利用率、并能隔离蒸镀源与样品台。

基本信息
专利标题 :
一种多功能纳米真空镀膜仪
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020233623.4
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-02-28
授权号 :
CN211689213U
授权日 :
2020-10-16
发明人 :
王宁
申请人 :
苏州泓沵达仪器科技有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市相城区太平街道金澄路88-1号8209室
代理机构 :
无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
丰叶
优先权 :
CN202020233623.4
主分类号 :
C23C14/24
IPC分类号 :
C23C14/24  C23C14/50  
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/24
真空蒸发
法律状态
2022-03-04 :
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移IPC(主分类) : C23C 14/24
登记生效日 : 20220222
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 苏州泓沵达仪器科技有限公司
变更后权利人 : 英纳科(苏州)半导体科技有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 215000 江苏省苏州市相城区太平街道金澄路88-1号8209室
变更后权利人 : 215000 江苏省苏州市吴江区江陵街道芦荡路168号(凌益路北侧)
2020-10-16 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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