一种带有不同腔室隔离结构设计的板材镀膜装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种带有不同腔室隔离结构设计的板材镀膜装置，包括底座，所述底座的上端外表面固定安装有机体，所述机体的内部一侧开设有第一镀膜腔，所述机体的内部另一侧开设有第二镀膜腔，所述机体的内部位于第一镀膜腔与第二镀膜腔之间的位置固定安装有中间座，本实用新型所达到的有益效果是：在机体内设置第一镀膜腔和第二镀膜腔，可以根据靶材的不同选择不同的镀膜腔室，从而方便将板材进行镀膜，不同腔室之间通过中间座进行隔离，中间座的挡板上的通孔用于板材的移动，方便板材移动到不同的镀膜腔室，移动时通过抽气泵将混合的气体抽出，从而避免不同腔室中的气体混合，提高镀膜装置的镀膜效果。
基本信息
专利标题 ：
一种带有不同腔室隔离结构设计的板材镀膜装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020376961.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-03-23
授权号 ：
CN211897091U
授权日 ：
2020-11-10
发明人 ：
温晓理叶炳桂
申请人 ：
江苏顶品家居有限公司
申请人地址 ：
江苏省宿迁市泗阳县泗阳经济开发区长江路30号
代理机构 ：
连云港联创专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
刘刚
优先权 ：
CN202020376961.3
主分类号 ：
C23C14/34
IPC分类号 ：
C23C14/34 C23C14/56
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
法律状态
2020-11-10 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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