一种真空镀膜用集成腔室
授权
摘要
本实用新型公开了一种真空镀膜用集成腔室，包括集成腔室本体，所述集成腔室本体的顶部内壁和底部内壁焊接有同一个隔板，且隔板的中部开设有传输口，所述隔板将集成腔室本体分隔为预热室和冷却室，所述集成腔室本体内设有传输机构，且传输机构包括通过螺栓安装在集成腔室本体一侧外壁的伺服电机、与伺服电机输出轴连接的丝杆。本实用新型第一水泵将水箱中的冷水泵入到U型冷凝槽内，对镀膜板上的工件进行冷却处理，并且第二水泵又将U型冷凝槽内冷却水泵回至水箱内，这样水冷的效果好，而且不会造成水资源的浪费，能够实现水资源的循环利用，由于设置了控制器和抽气泵，能够精准的保证真空环境，工人操作起来简单快捷，提高了工作效率。
基本信息
专利标题 ：
一种真空镀膜用集成腔室
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022071818.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-18
授权号 ：
CN213507163U
授权日 ：
2021-06-22
发明人 ：
康宗海
申请人 ：
深圳市荣凯光电科技有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市龙华区观湖街道新田社区创新工业园17号D栋厂房101一楼，二楼B区
代理机构 ：
深圳市中科创为专利代理有限公司
代理人 ：
谭雪婷
优先权 ：
CN202022071818.6
主分类号 ：
C23C14/22
IPC分类号 ：
C23C14/22 C23C14/56 C23C14/54
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
法律状态
2021-06-22 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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