一种用于镀膜腔室的防尘机构
授权
摘要
本实用新型公开了一种用于镀膜腔室的防尘机构，包括支撑板、防尘挡板和位移驱动机构；支撑板水平布置在镀膜腔室的内部，且位于镀膜基板和镀膜源的上方；防尘挡板由多块防尘单元板在水平面内可拆卸拼接组成；防尘挡板可拆卸连接在支撑板的底面上；位移驱动机构用于驱动支撑板实现水平移动。本实用新型通过防尘挡板吸附颗粒粉尘，防尘挡板由至少两个防尘单元板组成，通过位移驱动机构带动防尘挡板水平移动，可以快速更换防尘单元板，避免吸附在遮挡面上的杂质掉落镀膜基板上，还能避免杂质散落在镀膜腔体中而污染腔体；能有效延长设备维护周期，提高设备稼动率，降低设备运行成本，提升产品良率，还有利于挡板上镀膜材料的回收利用。
基本信息
专利标题 ：
一种用于镀膜腔室的防尘机构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021944023.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-08
授权号 ：
CN213266679U
授权日 ：
2021-05-25
发明人 ：
鲍少娟王继磊李永乐黄金杨立友贾慧君
申请人 ：
晋能光伏技术有限责任公司
申请人地址 ：
山西省晋中市山西综改示范区晋中开发区新能源汽车园区广安东街533号
代理机构 ：
北京慕达星云知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
姜海荣
优先权 ：
CN202021944023.5
主分类号 ：
C23C14/24
IPC分类号 ：
C23C14/24 C23C16/50
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/24
真空蒸发
法律状态
2021-05-25 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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