一种硅片的四面整片机构
授权
摘要
本实用新型提供了一种硅片的四面整片机构，所述的整片机构包括用于叠放硅片的硅片装载装置、用于沿X方向运输硅片装载装置的传送装置、用于从X方向对硅片整片的X向定位装置、用于从Y方向对硅片整片的一对Y向定位装置，所述的传送装置上具有整片工位，所述的X向定位装置，包括第一气缸、连接于所述的第一气缸上侧的能够在所述的第一气缸的驱动下沿Z向移动的升降板、安装在所述的升降板上的第二气缸、被所述的第二气缸驱动的两个夹紧组件，两个夹紧组件能够分别从前后两侧对硅片进行整片。
基本信息
专利标题 ：
一种硅片的四面整片机构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020390622.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-03-24
授权号 ：
CN211828717U
授权日 ：
2020-10-30
发明人 ：
吴廷斌张学强张建伟罗银兵
申请人 ：
罗博特科智能科技股份有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市工业园区唯亭港浪路3号
代理机构 ：
苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
李艾
优先权 ：
CN202020390622.0
主分类号 ：
H01L21/68
IPC分类号 ：
H01L21/68 H01L21/673 H01L21/677 H01L21/324 H01L31/18
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/68
用于定位、定向或对准的
法律状态
2020-10-30 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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