一种应用于硅片溅射台的分离装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种应用于硅片溅射台的分离装置，涉及太阳能电池制造技术领域，包括：基座、第一升降结构、托盘、调整机构、驱动齿轮、驱动装置、分离机构。调整机构具有：滚齿轮、传动齿轮、滚珠丝杆、套座、调节件。本实用新型通过驱动齿轮的连接齿在旋转方向驱动调整机构的滚齿轮，实现同步驱动滚珠丝杆转动，进而使得滚珠丝杆上的调整件能够沿调整机构的径向方向同步轻触硅片堆以及同步远离硅片堆，使得硅片堆在分离过程中出现单个硅片偏移后，能够对该偏移的硅片进行复位，使得叠放在一起的单个硅片之间，在分离前后都保持上下位置一致。
基本信息
专利标题 ：
一种应用于硅片溅射台的分离装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020420456.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-03-28
授权号 ：
CN211879399U
授权日 ：
2020-11-06
发明人 ：
伍志军
申请人 ：
苏州赛森电子科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市张家港市福新路2号B06一楼赛森电子
代理机构 ：
苏州润桐嘉业知识产权代理有限公司
代理人 ：
吴筱娟
优先权 ：
CN202020420456.4
主分类号 ：
H01L31/18
IPC分类号 ：
H01L31/18
法律状态
2020-11-06 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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