具有反光识别区的光掩模夹具

专利权的终止

摘要

本实用新型提供一种具有反光识别区的光掩模夹具，用于光掩模工作台，所述光掩模工作台上方具有反光识别探测器，所述光掩模夹具包括：夹具框体；光掩模窗口，位于所述夹具框体中；以及反光识别区，位于所述夹具框体上，并与所述反光识别探测器对准设置。本实用新型在夹具框体上设置具有高反光率的反光识别区，使得不再需要整个光掩模夹具的材质都具有高反射率，可以使用价格较低的金属替代原来昂贵的高反射金属材质，仅需在反光识别区设置高反射材料即可，从而大大降低了光掩模夹具的材料成本及制造成本。

基本信息

专利标题：

具有反光识别区的光掩模夹具

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020592068.4

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-04-20

授权号：

CN211698589U

授权日：

2020-10-16

发明人：

王国荃

申请人：

上海凸版光掩模有限公司

申请人地址：

上海市徐汇区宜山路800号

代理机构：

上海光华专利事务所(普通合伙)

代理人：

罗泳文

优先权：

CN202020592068.4

主分类号：

G03F7/20

IPC分类号：

G03F7/20