掩模盒

专利权的终止

摘要

一种掩模盒，用于放置掩模板，所述掩膜板上形成有图案，该掩膜盒包括盒体、盒盖和位于所述盒体上的用于支撑所述掩模板的支撑部，其中，所述支撑部具有与所述掩膜板接触的接触端，所述接触端与所述图案之间有距离。本实用新型的掩模盒能够减少支撑部对掩模板上图案的磨损，提高掩模板的使用寿命，减少曝光过程中的误差。

基本信息

专利标题：

掩模盒

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN200720067461.6

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2007-02-13

授权号：

CN201032516Y

授权日：

2008-03-05

发明人：

王跃刚章磊周从树张伟

申请人：

中芯国际集成电路制造(上海)有限公司

申请人地址：

201203上海市浦东新区张江路18号

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司

代理人：

李文红

优先权：

CN200720067461.6

主分类号：

G03F7/20

IPC分类号：

G03F7/20

IPC结构图谱

G部——物理

G03

摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术

G03F

图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备

G03F7/00

图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备

G03F7/20

曝光及其设备

法律状态

2017-03-29 ：

专利权的终止

专利权有效期届满号牌文件类型代码 : 1611
号牌文件序号 : 101709172351
IPC(主分类) : G03F 7/20
专利号 : ZL2007200674616
申请日 : 20070213
授权公告日 : 20080305
终止日期 : 无

2013-01-09 ：

专利申请权、专利权的转移

专利权的转移号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101493597330
IPC(主分类) : G03F 7/20
专利号 : ZL2007200674616
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
变更后权利人 : 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 201203 上海市浦东新区张江路18号
变更后权利人 : 100176 北京市经济技术开发区文昌大道18号
登记生效日 : 20121211

2008-03-05 ：

授权

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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