一种通用掩模夹具
授权
摘要
本实用新型公开了一种通用掩模夹具，包括底座，所述底座上设有放置台，所述放置台上设有掩模，所述底座上设有用于夹持不同大小掩模的夹持装置，本实用新型通过设有夹持装置，可以解决目前阶段的掩模夹具存在的诸多不足，解决了在对于不同的掩模需要不同类型的夹具，无法实现一种夹具掩模通用的问题，在夹持不同大小的掩模时无需更换夹具，方便快捷。
基本信息
专利标题 ：
一种通用掩模夹具
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022475732.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-10-31
授权号 ：
CN213276257U
授权日 ：
2021-05-25
发明人 ：
华卫群尤春刘维维杨东海顾梦星刘浩
申请人 ：
无锡中微掩模电子有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市新区菱湖大道202号
代理机构 ：
无锡苏元专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
吴忠义
优先权 ：
CN202022475732.X
主分类号 ：
G03F7/20
IPC分类号 ：
G03F7/20
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2021-05-25 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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