一种靶材帮定控温装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种靶材帮定控温装置，包括主控柜、设置与主控柜内的控制电路和独立于主控柜的发热组件，控制电路设置有三相电源输入端，发热组件包括均布于帮定平台的多组发热件以及与发热件电连接的温控装置，三相电源输入端与温控装置电连接，温控装置包括有温控记录仪、温控器、温控表、调功器，温控表电连接于温控记录仪的信号接收口，温控记录仪电连接于温控器的信号接收口，温控器电连接于调功器的信号接收口，调功器于发热件电连接；通过在帮定平台上均布多组发热件以及温控装置，对帮定平台上的温度进行实时监控和加热，使得帮定平台不同区域之间的温度相近，提高帮定效果。
基本信息
专利标题 ：
一种靶材帮定控温装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020614865.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-04-22
授权号 ：
CN211786811U
授权日 ：
2020-10-27
发明人 ：
李兵
申请人 ：
东莞市欧莱溅射靶材有限公司
申请人地址 ：
广东省东莞市厚街镇汀山村汀山路121号
代理机构 ：
北京天盾知识产权代理有限公司
代理人 ：
林晓宏
优先权 ：
CN202020614865.8
主分类号 ：
G05D23/22
IPC分类号 ：
G05D23/22 C23C14/34
IPC结构图谱
G
G部——物理
G05
控制；调节
G05D
非电变量的控制或调节系统
G05D23/00
温度的控制
G05D23/19
以使用电装置为特征的
G05D23/20
具有随温度变化而产生电或磁性质变化的传感元件
G05D23/22
传感元件为热电偶的
法律状态
2020-10-27 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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