一种曝光机的定位装置
授权
摘要

本实用新型公开了一种曝光机的定位装置,包括放置板面的下框和放置菲林的上框,所述上框枢转安装于下框的一侧,所述下框设有驱动上框在与下框靠近的位置和相远离的位置之间翻转的驱动装置;所述下框设有吸附板面的对位板,所述对位板连接有第一真空装置,所述对位板的外围设有湿度调节装置。在上框下框之间设置湿度调节装置,当菲林和板面相分离前,通过湿度感应管对上框和下框之间的湿度进行检测,当湿度低于预定值时,控制装置控制喷雾装置对上框和下框之间进行喷雾以提高湿度值至预定值,从而可以避免菲林因湿度值过小而产生的干缩,从而造成菲林损坏。

基本信息
专利标题 :
一种曝光机的定位装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020848039.X
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-05-20
授权号 :
CN211741832U
授权日 :
2020-10-23
发明人 :
袁强刘长征郭宇辰
申请人 :
龙岩海圣科技有限公司
申请人地址 :
福建省龙岩市武平县岩前镇高新园区东路20号
代理机构 :
东莞合方知识产权代理有限公司
代理人 :
梁洪文
优先权 :
CN202020848039.X
主分类号 :
G03F7/20
IPC分类号 :
G03F7/20  H05K3/00  
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F7/00
图纹面,例如,印刷表面的照相制版如光刻工艺;图纹面照相制版用的材料,如:含光致抗蚀剂的材料;图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2020-10-23 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
1、
CN211741832U.PDF
PDF下载
  • 联系电话
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 联系 Q Q
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 关注微信
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 收藏
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332