一种晶棒平整度的检测装置
授权
摘要

本实用新型提供了一种晶棒平整度的检测装置,所述检测装置包括:样品台,所述样品台用于放置待测晶棒;底座,所述样品台水平滑动设置于所述底座上;千分表,所述千分表设置于底座的正上方;升降装置,所述升降装置包括升降台,所述升降台上设置有固定千分表的夹持部。本实用新型通过升降装置控制千分表上升和下降,且通过控制样品台的水平移动,可将所述晶棒不同测试点位于千分表的正下方,获取所述晶棒的不同测试点的数值,可以满足不同尺寸晶棒表面的平整度测试,利用该装装置检测晶棒平整度的准确度高,且效率高。

基本信息
专利标题 :
一种晶棒平整度的检测装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020863575.7
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-05-21
授权号 :
CN212340154U
授权日 :
2021-01-12
发明人 :
张红岩蒋文广王永方姜岩鹏谢新昌
申请人 :
山东天岳先进科技股份有限公司
申请人地址 :
山东省济南市槐荫区天岳南路99号
代理机构 :
北京君慧知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
王宽
优先权 :
CN202020863575.7
主分类号 :
G01B5/28
IPC分类号 :
G01B5/28  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量;角度的计量;面积的计量;不规则的表面或轮廓的计量
G01B5/255
••用于检测轮子的准直
G01B5/28
用于计量表面的粗糙度或不规则性
法律状态
2021-01-12 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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