本实用新型属于真空镀膜技术领域，尤其为一种用于扩散膜生产的真空镀膜装置，包括镀膜箱和冷却箱，所述镀膜箱的内部具有用于扩散膜镀膜的镀膜机构和用于扩散膜输送的滑台，所述冷却箱固定在所述镀膜箱的右侧，所述滑台滑动在所述镀膜箱和所述冷却箱的内壁，所述冷却箱的内部固定连接有内箱；冷却水在流动腔中循环降低了内箱和冷却箱中的热量，从而对镀膜箱的外部进行降温，再将冷却后的空气吹动进入镀膜箱中，增加了镀膜箱中的空气流动的速度，从而对镀膜箱的内部进行降温，可以通过风冷和水冷同时对镀膜箱进行降温，提高了镀膜箱的冷却速度，也避免了水珠依附在腔壁上对设备造成腐蚀的情况出现，实用性强。