一种保持清洁度的半导体新材料清洁装置
授权
摘要
本实用新型涉及半导体清洗装置技术领域，且公开了一种保持清洁度的半导体新材料清洁装置，包括一号隔音板，所述一号隔音板的顶部固定连接有电机，所述电机的顶部固定连接有轴套，所述轴套的内部活动连接有顶杆，所述轴套的内部活动连接有旋转轴，所述旋转轴的表面开设有环形滑轨，所述旋转轴的表面开设有直线滑轨。该保持清洁度的半导体新材料清洁装置旋转轴的表面开设有环形滑轨，旋转轴的表面开设有直线滑轨，环形滑轨的表面开设有直线滑轨，以免两条滑轨线互相干涉，环形滑轨的顶部与直线滑轨的顶部相连，可以在滑轨顶部切换滑轨的轨道，该结构减少了人工的参与，有效的提高了该装置的自动化程度。
基本信息
专利标题 ：
一种保持清洁度的半导体新材料清洁装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020892025.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-05-25
授权号 ：
CN212349720U
授权日 ：
2021-01-15
发明人 ：
许桂林
申请人 ：
江西全道半导体科技有限公司
申请人地址 ：
江西省抚州市崇仁县高新技术园区产业大道9号
代理机构 ：
北京恒泰铭睿知识产权代理有限公司
代理人 ：
何平
优先权 ：
CN202020892025.8
主分类号 ：
B08B3/12
IPC分类号 ：
B08B3/12 B08B13/00 H01L21/67 G10K11/16
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
B08B3/04
与液体接触的清洁
B08B3/10
对液体或被净化物体进行附加处理的，如用加热，电力，振动
B08B3/12
用声波或超声波振动的（声波或超声波陶器或餐具清洗或冲洗机入A47L15/13；使用超声波技术清洗或冲洗天然牙、假牙或类似于天然牙的入A61C17/20；超声波振动用于一般化学、物理，或物理化学过程中的入B01J19/10
法律状态
2021-01-15 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
