一种用于真空气相沉积炉的温度检测装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种用于真空气相沉积炉的温度检测装置，包括供气箱，所述供气箱的一侧安装有计量箱，所述计量箱远离供气箱的一侧安装有电源箱，所述电源箱与计量箱和供气箱的顶端安装有隔板，所述隔板的顶端安装有托板，所述托板的顶端两侧均安装有支架，所述托板的顶端安装有测温箱与管式炉，两组所述支架之间安装有高温反应管，且高温反应管贯穿安装于测温箱与管式炉的内部，且管式炉位于测温箱的一侧，所述高温反应管的一端安装有阀门；所述隔板的内部安装有弹簧，所述隔板的一侧安装有工作台，所述工作台的底端安装有斜杆；本实用新型具能够提供设备的机动性和稳定性，增加了操作空间，提高了实用性。
基本信息
专利标题 ：
一种用于真空气相沉积炉的温度检测装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020971480.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-06-01
授权号 ：
CN212779645U
授权日 ：
2021-03-23
发明人 ：
杨开平黄军彭剑捷
申请人 ：
四川巴顿航空设备制造有限公司
申请人地址 ：
四川省成都市彭州市丽春镇白鹤社区四组
代理机构 ：
合肥律众知识产权代理有限公司
代理人 ：
丁孝涛
优先权 ：
CN202020971480.7
主分类号 ：
G01K13/00
IPC分类号 ：
G01K13/00 G01K1/14
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01K
温度测量；热量测量；未列入其他类目的热敏元件
G01K13/00
特殊用途温度计
法律状态
2021-03-23 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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