本申请涉及一种设备控制系统，属于机械设备技术领域，所述系统包括：PVD腔、流量控制阀、流量检测计、电压检测组件、可编程逻辑控制器PLC控制器；流量控制阀和流量检测计与PVD腔连通，所述流量控制阀用于向控制所述PVD腔内进气的流量，流量检测计用于检测PVD腔的进气流量；电压检测组件用于检测PVD腔中的靶材的溅射电压；流量控制阀、流量检测计和电压检测组件与PLC控制器电性连接；解决了现有技术中制备的氧化钒薄膜的电阻均匀性不好，重复性和稳定性不好，而且无法实现所需要电阻的精确调节的问题；达到了可以提高电阻均匀性，重复性和稳定性好，并且电阻可精确调节的效果。