本实用新型公开了一种半导体制造用机械手臂，包括机械手臂，所述机械手臂的下方设有底板，所述机械手臂通过转动装置与底板相连。该半导体制造用机械手臂，更好的满足人们的使用需要，其具体有益效果如下，通过曲管、盖体、挡圈、滤网、蜗杆和第一蜗轮之间的配合，实现了控制机械手臂转动的同时，可以对蜗杆和第一蜗轮进行实时的注油润滑，不需要作业人员定期进行注油注液，减少了作业量，给作业人员带来便利，通过曲杆、双头螺柱、圆环、钢珠和螺纹管之间的配合，对机械手臂进行辅助支撑，降低圆杆和箱体之间轴承的受力情况，提高其使用寿命，因此该半导体制造用机械手臂更好的满足了人们的使用需要，适于推广使用。