一种半导体制造用的机械手臂

授权

摘要

本实用新型涉及半导体制造设备技术领域，具体为一种半导体制造用的机械手臂，包括有底座和设在底座顶部的升降装置，升降装置滑动连接有夹持组件，夹持组件包括有安装板和第一丝杆，第一丝杆与安装板固定连接，第一丝杆连接有夹爪装置，每一夹爪装置包括有滑动板、夹爪和螺母，滑动板与安装板滑动连接，滑动板通过螺母与第一丝杆螺旋连接，滑动板设有第一电机，第一电机连接有主动齿轮，主动齿轮啮合连接有从动齿轮，从动齿轮与螺母固定连接；本实用新型由第一电机驱动主动齿轮和从动齿轮转动，使得螺母在丝杆外壁上下滑动，进而带动夹爪上下滑动，每一夹爪都由一个对应的第一电机驱动，使得各夹爪之间的间距可任意调节。

基本信息

专利标题：

一种半导体制造用的机械手臂

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202021289826.1

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-07-03

授权号：

CN213054822U

授权日：

2021-04-27

发明人：

王鑫

申请人：

浙江优众新材料科技有限公司

申请人地址：

浙江省舟山市定海区定海工业园区创园大道10号

代理机构：

宁波市鄞州盛飞专利代理事务所(特殊普通合伙)

代理人：

王银炯

优先权：

CN202021289826.1

主分类号：

B25J9/02

IPC分类号：

B25J9/02