一种应用于硅片转移用机械手的吸盘
授权
摘要
本申请涉及硅片转移的技术领域，尤其是涉及一种应用于硅片转移用机械手的吸盘，包括吸附部和安装部，所述吸附部远离安装部的一端开设有刃型边。本申请具有以下效果：刃型边的开设使得吸盘将更容易插入至硅片与硅片之间的空隙中，从而降低了加工过程中对机械手移动精度的要求，提高了加工过程中的容错性。
基本信息
专利标题 ：
一种应用于硅片转移用机械手的吸盘
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021264597.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-06-30
授权号 ：
CN212230405U
授权日 ：
2020-12-25
发明人 ：
刘国彬
申请人 ：
深圳市德澳美科技有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市龙华区龙华街道清湖社区清湖安之龙工业园B栋201
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202021264597.8
主分类号 ：
H01L21/683
IPC分类号 ：
H01L21/683 H01L21/677
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/683
用于支承或夹紧的
法律状态
2020-12-25 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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