一种立式化学气相沉积炉炉底加热装置
授权
摘要
本实用新型提供一种立式化学气相沉积炉炉底加热装置。立式化学气相沉积炉炉底加热装置，包括：炉体；空腔，所述空腔开设在所述炉体上；加热机构，所述加热机构设置在所述炉体的内部；两个导气管，两个所述导气管均设置在所述炉体的顶部。本实用新型提供的立式化学气相沉积炉炉底加热装置具有可以对材料进行快速方便的加热，且取料方便，加热效果好，热量不易散出，且冷却速度快的优点。
基本信息
专利标题 ：
一种立式化学气相沉积炉炉底加热装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021346196.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-07-10
授权号 ：
CN212770955U
授权日 ：
2021-03-23
发明人 ：
贺鹏博周帆
申请人 ：
湖南铠欣新材料科技有限公司
申请人地址 ：
湖南省益阳市高新区东部产业园标准化厂房E区E1栋北侧一半
代理机构 ：
长沙轩荣专利代理有限公司
代理人 ：
黄艺平
优先权 ：
CN202021346196.7
主分类号 ：
C23C16/46
IPC分类号 ：
C23C16/46 C23C16/44
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
C23C16/46
以加热基体的方法为特征的
法律状态
2021-03-23 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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