一种新型立式气相沉积炉
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摘要
一种新型立式气相沉积炉，包括沉积炉炉体、沉积室、安装底座及安装平台，安装平台固定安装于安装底座的上端面上，沉积炉炉体固定安装于安装平台上，安装底座的中部开设有一道滑轨，滑轨上设置有一个填料车，沉积炉炉体内设置有一个沉积室，沉积室为由外室及内室组成的中空的正六边形腔体类结构，外室内接于沉积炉炉体内，内室同心设置于外室的内侧，内室与外室之间的均匀设置有数块加热板，加热板通过线路外接电源，沉积炉炉体沿其周向均匀开设有数个加压孔，加压孔内均密封连接有一根加压管，沉积炉炉体的顶部可拆卸的设置有一个上盖，填料车上焊接有一个与沉积炉炉体相适配的底盖。本实用新型结构简单，设计合理，工作效率高。
基本信息
专利标题 ：
一种新型立式气相沉积炉
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123252451.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-23
授权号 ：
CN216360514U
授权日 ：
2022-04-22
发明人 ：
刘昊亮郭勇张振清陈浩纯
申请人 ：
江西昊军智能装备有限公司
申请人地址 ：
江西省景德镇市珠山区人民广场华阳国际公寓1101,1103
代理机构 ：
北京科家知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
庄吴敏
优先权 ：
CN202123252451.9
主分类号 ：
C23C16/44
IPC分类号 ：
C23C16/44 C23C16/46 C23C16/458
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
法律状态
2022-04-22 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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