一种带有自动上料设备的光刻机
授权
摘要

本实用新型公开了一种带有自动上料设备的光刻机,包括防震支架、箱体、控制面板、指示灯、传送带、气动压力检查开关,所述防震支架设置在所述箱体底部四个角的位置,所述控制面板设置在所述箱体一侧,所述控制面板连接有电线,所述指示灯设置在所述箱体顶部,所述传送带贯穿所述箱体,所述箱体内部设置有第一电机,所述第一电机连接有第一转轴,所述第一电机连接于所述电线,所述第一转轴顶部连接有连接杆,所述连接杆水平连接于所述第一转轴,所述连接杆连接有电动伸缩杆。通过控制面板调节第一转轴和第二转轴的同步运转,实现了转移未光刻物料到光刻位置和取下已光刻物料的同时进行,极大的提高了加工过程的便利性。

基本信息
专利标题 :
一种带有自动上料设备的光刻机
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021398478.1
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-07-08
授权号 :
CN212364791U
授权日 :
2021-01-15
发明人 :
秦有贵徐锋李华郭杰
申请人 :
上海芯立电子科技有限公司
申请人地址 :
上海市浦东新区宣桥镇宣春路182号7幢一层
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN202021398478.1
主分类号 :
G03F7/20
IPC分类号 :
G03F7/20  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F7/00
图纹面,例如,印刷表面的照相制版如光刻工艺;图纹面照相制版用的材料,如:含光致抗蚀剂的材料;图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2021-01-15 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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