一种用于晶圆曝光检测设备的驱动器
授权
摘要
本实用新型公开了一种用于晶圆曝光检测设备的驱动器，包括安装壳，所述安装壳内腔左侧的顶部和底部均固定连接有固定架，两个固定架之间活动连接有驱动器本体，所述安装壳的顶部设置有散热机构，所述安装壳内腔的右侧开设有凹槽，所述凹槽内腔的顶部通过轴承活动连接有螺纹杆。本实用新型通过将驱动器本体放置于两个固定架之间，转动旋钮，旋钮最终带动移动板和紧固架向驱动器本体移动，对驱动器本体进行紧固，即达到了便于安装的目的，该用于晶圆曝光检测设备的驱动器具备便于安装的优点，安装操作简单，拆卸便捷，无需通过螺栓打孔安装，省时省力，并且具备防尘散热功能，提高了其实用性。
基本信息
专利标题 ：
一种用于晶圆曝光检测设备的驱动器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021441996.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-07-21
授权号 ：
CN212364792U
授权日 ：
2021-01-15
发明人 ：
戴严淼
申请人 ：
深圳精技工业科技有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市龙华区观澜街道大富社区大富工业区20号硅谷动力智能终端产业园A15栋102
代理机构 ：
北京科家知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
宫建华
优先权 ：
CN202021441996.7
主分类号 ：
G03F7/20
IPC分类号 ：
G03F7/20 H01L21/67
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2021-01-15 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
