曝光设备
专利权的终止
摘要

本实用新型提供了一种曝光设备,其包括曝光机,特别地,还包括遮光装置,该遮光装置包括:连接元件,可转动地安装在曝光机的对位镜头上;遮光元件,固定连接于上述连接元件;其中,遮光元件可选择地遮盖母版上的测量窗口。具体地,根据本实用新型的遮光元件在曝光机对感光干膜进行曝光时遮盖母版上的测量窗口。紫外光无法穿过本遮光装置而照射到与测量窗口相对的感光干膜上,从而使感光干膜区不会曝光,这样在随后的蚀刻显影过程中,与该部分感光干膜区对应的ITO薄膜就会被蚀刻掉,而不会形成会对封排气密性造成影响的多余的ITO图形。

基本信息
专利标题 :
曝光设备
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN200820108803.9
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2008-06-24
授权号 :
CN201281804Y
授权日 :
2009-07-29
发明人 :
田玉民
申请人 :
四川虹欧显示器件有限公司
申请人地址 :
100085北京市海淀区上地信息路11号
代理机构 :
北京康信知识产权代理有限责任公司
代理人 :
吴贵明
优先权 :
CN200820108803.9
主分类号 :
G03F7/20
IPC分类号 :
G03F7/20  H01J17/49  H01J9/20  
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F7/00
图纹面,例如,印刷表面的照相制版如光刻工艺;图纹面照相制版用的材料,如:含光致抗蚀剂的材料;图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2017-08-11 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101740968085
IPC(主分类) : G03F 7/20
专利号 : ZL2008201088039
申请日 : 20080624
授权公告日 : 20090729
终止日期 : 20160624
2009-07-29 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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