一种物料检测装置和曝光设备
授权
摘要
本实用新型公开了一种物料检测装置和曝光设备，该物料检测装置的物料存储库中设置有多个物料放置槽；该物料放置槽的上表面设置有压力传感器；该压力传感器用于检测物料放置槽的上表面受到的压力，并将压力检测电信号输出至压力检测电路，以使压力检测电路能够根据各所述压力传感器的压力检测电信号输出检测结果，确定出各物料放置槽中是否放置有物料。本实用新型实施例的物料检测装置结构简单，且具有较高的检测准确度。
基本信息
专利标题 ：
一种物料检测装置和曝光设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922010343.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-11-20
授权号 ：
CN210514936U
授权日 ：
2020-05-12
发明人 ：
祝玥华唐文力吴钱忠周剑锋
申请人 ：
上海微电子装备(集团)股份有限公司
申请人地址 ：
上海市浦东新区自由贸易试验区张东路1525号
代理机构 ：
北京品源专利代理有限公司
代理人 ：
孟金喆
优先权 ：
CN201922010343.7
主分类号 ：
G03F7/20
IPC分类号 ：
G03F7/20
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2020-05-12 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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