一种光刻机的成像装置
授权
摘要

本实用新型公开了一种光刻机的成像装置,包括底座和电动伸缩杆,所述电动伸缩杆安装于底座上方,所述电动伸缩杆远离底座的一端安装将放置在其上的PCB板放入光刻机工作位置进行曝光的旋转工作台,现有的升降平台在使用的过程中一次只可对一块PCB板进行放置,且每次更换新的PCB板后便需要重新进行高度调节,降低了工作效率,为此,我们提出一种光刻机的成像装置,使用旋转工作台代替普通工作台,可同时放入三块PCB板,通过电动伸缩杆即可同步完成三块PCB板的高度调节,之后通过旋转电机带动旋转工作台将三块PCB板依次放入光刻机工作位置,同时通过控制驱动电机即可完成对三块PCB板的偏转角度调节,即可依次进行曝光、收取和放入PCB板,提高工作效率。

基本信息
专利标题 :
一种光刻机的成像装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021494552.X
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-07-24
授权号 :
CN213122597U
授权日 :
2021-05-04
发明人 :
王泽明邓超略朱勤黄文斌赵家峰
申请人 :
湖南印之明智能制造有限公司
申请人地址 :
湖南省湘潭市高新区光华路摇钱社区19号
代理机构 :
北京棘龙知识产权代理有限公司
代理人 :
聂颖
优先权 :
CN202021494552.X
主分类号 :
G03F7/20
IPC分类号 :
G03F7/20  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F7/00
图纹面,例如,印刷表面的照相制版如光刻工艺;图纹面照相制版用的材料,如:含光致抗蚀剂的材料;图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2021-05-04 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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