一种绷膜环晶圆检查机
授权
摘要
本实用新型公开了一种绷膜环晶圆检查机，包括检查机主体、晶圆提篮、工作台、纵向移动组件、横向移动组件、安装座、X轴移动组件、Y轴移动组件、吸附平台、支架、INKER标记仪、CCD对位仪、检查组件和扫描仪；该实用新型，通过增设纵向移动组件、横向移动组件、X轴移动组件、Y轴移动组件、吸附平台和检查组件，并配合CCD对位仪和扫描仪，从而使晶圆检查机能实时定位待检查晶圆的位置，自动对待检查晶圆完成移动、夹取、夹持、吸附和检查的动作，不仅提高了晶圆检查机的自动化程度，降低了人员的劳动强度，提高了晶圆检查的效率，还避免了人为操作失误对晶圆表面造成损伤的问题，减少了晶圆检查的次品率，节省了资源。
基本信息
专利标题 ：
一种绷膜环晶圆检查机
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021499377.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-07-27
授权号 ：
CN212275626U
授权日 ：
2021-01-01
发明人 ：
田金泉李涛王广禄陈曦柯华榕
申请人 ：
憬承光电科技（厦门）有限公司
申请人地址 ：
福建省厦门市厦门火炬高新区（翔安）产业区翔虹路33号105室
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202021499377.3
主分类号 ：
G01N21/95
IPC分类号 ：
G01N21/95 G01N21/01 B07C5/342
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段，即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/84
专用于特殊应用的系统
G01N21/88
测试瑕疵、缺陷或污点的存在
G01N21/95
特征在于待测物品的材料或形状
法律状态
2021-01-01 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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