晶圆的检查方法及晶圆
授权
摘要
本发明的晶圆具备：基板层；第1镜层，其具有二维配置的多个第1镜部；及第2镜层，其具有二维配置的多个第2镜部。在晶圆中，通过在第1镜部与第2镜部之间形成空隙，而构成有多个法布里‑帕罗干涉滤光器部。一实施方式的晶圆检查方法包含下述步骤：进行多个法布里‑帕罗干涉滤光器部的各个的是否为良品的判定；对判定为不良的法布里‑帕罗干涉滤光器部的第2镜层中自相对方向观察时与空隙重叠的部分的至少一部分涂布墨水。
基本信息
专利标题 ：
晶圆的检查方法及晶圆
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN111480105A
申请号 ：
CN201880075390.5
公开（公告）日 ：
2020-07-31
申请日 ：
2018-11-09
授权号 ：
CN111480105B
授权日 ：
2022-05-31
发明人 ：
藏本有未柴山胜己笠原隆广瀬真树川合敏光大山泰生
申请人 ：
浜松光子学株式会社
申请人地址 ：
日本静冈县
代理机构 ：
北京尚诚知识产权代理有限公司
代理人 ：
杨琦
优先权 ：
CN201880075390.5
主分类号 ：
G02B26/00
IPC分类号 ：
G02B26/00
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B26/00
利用可移动的或可变形的光学元件控制光的强度、颜色、相位、偏振或方向的光学器件或装置，例如，开关、选通或调制
法律状态
2022-05-31 ：
授权
2020-08-25 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G02B 26/00
申请日 : 20181109
申请日 : 20181109
2020-07-31 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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