适于化学汽相沉积装置扩散器的吹扫设备
授权
摘要
本实用新型公开了一种适于化学汽相沉积装置扩散器的吹扫设备，包括相对布置的两个吹扫机器人，吹扫机器人包括用于对扩散器进行吹扫的喷嘴和用于控制喷嘴进行移动的位置调节装置。本实用新型适于化学汽相沉积装置扩散器的吹扫设备，可以提高扩散器的吹扫工作效率，并可以提高安全性和稳定性。
基本信息
专利标题 ：
适于化学汽相沉积装置扩散器的吹扫设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021520600.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-07-28
授权号 ：
CN212320367U
授权日 ：
2021-01-08
发明人 ：
金卫明朱传兵亓露宋微张翔
申请人 ：
芜湖通潮精密机械股份有限公司
申请人地址 ：
安徽省芜湖市长江大桥综合经济开发区泥埠路1号
代理机构 ：
芜湖安汇知识产权代理有限公司
代理人 ：
朱顺利
优先权 ：
CN202021520600.8
主分类号 ：
F26B21/00
IPC分类号 ：
F26B21/00
相关图片
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F26
干燥
F26B
从固体材料或制品中消除液体的干燥
F26B
从固体材料或制品中消除液体的干燥
F26B21/00
干燥固体材料或制品用的空气或气体的供应或控制装置
法律状态
2021-01-08 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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