一种膜厚修正机构及蒸发镀膜设备
授权
摘要
本实用新型公开了一种膜厚修正机构及蒸发镀膜设备，膜厚修正机构包括：修正板；跳动组件，所述跳动组件与所述修正板连接，且，所述跳动组件可支撑并调节所述修正板的使用位置；其中，所述修正板包括第一状态和第二状态，其中，所述第一状态下，所述修正板处于横向水平位置；所述第二状态下，所述修正板处于纵向垂直位置。该种用于蒸发镀膜设备的膜厚修正机构，镀膜时修正板跳上升起，未镀膜时跳下摆动，与腔体壁平行，腔体内的空间无遮挡，适应于台车等升降机械的作业，实现较高腔体的镀锅的自动化装取，提高工作效率，减少作业人员的登高作业，提高安全性。
基本信息
专利标题 ：
一种膜厚修正机构及蒸发镀膜设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021592583.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-08-04
授权号 ：
CN212800517U
授权日 ：
2021-03-26
发明人 ：
王福平
申请人 ：
爱发科真空技术（苏州）有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市苏州工业园区苏虹东路277号
代理机构 ：
北京同恒源知识产权代理有限公司
代理人 ：
阴知见
优先权 ：
CN202021592583.9
主分类号 ：
C23C14/24
IPC分类号 ：
C23C14/24 C23C14/54
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/24
真空蒸发
法律状态
2021-03-26 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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