一种用于半导体蚀刻反应腔室的全自动刷镀镍的操作平台
授权
摘要

本实用新型公开了一种用于半导体蚀刻反应腔室的全自动刷镀镍的操作平台,包括机架,固定器,液体回收盒和数控装置,所述的机架为长方体结构,机架的中间设置有工件槽,所述的固定器安装于机架的两侧,固定器由侧板和两根固定杆组成,两根固定杆位于同一水平面且相互平行,固定杆的一端穿过机架与侧板固定连接,固定杆与机架为滑动连接。本实用新型的优点在于数控装置接收输入信息,并输出相应的指令脉冲给移动机构和电镀刷,从而控制设备进行全自动刷镀镍处理;压力传感器用于检测被镀工件所受到的压力,通过检测被镀工件所受到的不同压力值调节移动机构的运动状态,从而实现对不规则工件进行全自动的数控电刷镀。

基本信息
专利标题 :
一种用于半导体蚀刻反应腔室的全自动刷镀镍的操作平台
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021667378.4
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-08-12
授权号 :
CN212834077U
授权日 :
2021-03-30
发明人 :
黎纠
申请人 :
帝京半导体科技(苏州)有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市高新区竹园路209号4号楼8楼803-2
代理机构 :
杭州知杭知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
夏艳
优先权 :
CN202021667378.4
主分类号 :
C25D5/06
IPC分类号 :
C25D5/06  C25D21/12  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C25
电解或电泳工艺;其所用设备
C25D
覆层的电解或电泳生产工艺方法;电铸;工件的电解法接合;所用的装置
C25D5/00
以工艺方法为特征的电镀;工件的预处理或后处理
C25D5/04
用移动电极电镀
C25D5/06
刷镀或补镀
法律状态
2021-03-30 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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