本实用新型公开了一种真空气相沉积炉，包括：反应室，用于为待反应物质提供反应环境；钟罩型收集器，罩设于反应室的外周部、用于使气体冷凝并收集气体冷凝之后的产物，且设置有扩散孔；炉盖，罩设于钟罩型收集器的外周部，使炉盖内形成密闭空间；抽真空口，设置于炉盖，用于在抽真空时使炉盖内空间的气体流出。在抽真空口处进行抽真空操作，待反应物质反应过程中产生的气体由出气孔出来之后，会沿着钟罩型收集器的内壁流动并冷凝，被钟罩型收集器收集，钟罩型收集器内的空气会流动至扩散孔，由于扩散孔与出气孔错位设置，因此气体在流动的过程中需要改变方向，流动路线为非直线，避免了气体直接被抽走，从而提高了真空气相沉积炉的收料率。