高分辨率距离传感器像素结构及距离传感器
授权
摘要
本实用新型提出了一种高分辨率距离传感器像素结构及距离传感器，像素结构为后照式结构，在像素结构正面，处理电路围绕在多个单光子雪崩电路结构外围，相邻的单光子雪崩电路结构顶部之间由浅隔离层隔离，浅隔离层隔离处理电路与单光子雪崩电路结构；在像素组结构背面，相邻的单光子雪崩电路结构底部之间及外围由所述深隔离层隔离；同一像素组内单光子雪崩电路结构共用一DNW或DPW。将多个SPAD组成一像素组，同一像素组内的多个SPAD共用一个DNW或DPW，并且共用外围的处理电路，结构紧凑，面积可大幅缩小，且无需太多面积和空间满足DNW或DPW的设计规则，便于将像素间距缩小，从而实现像素阵列的高分辨率。
基本信息
专利标题 ：
高分辨率距离传感器像素结构及距离传感器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021923992.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-04
授权号 ：
CN214097787U
授权日 ：
2021-08-31
发明人 ：
东尚清
申请人 ：
上海大芯半导体有限公司
申请人地址 ：
上海市浦东新区中国（上海）自由贸易试验区张衡路200号2幢3层
代理机构 ：
上海和华启核知识产权代理有限公司
代理人 ：
赵祖祥
优先权 ：
CN202021923992.2
主分类号 ：
G01S17/48
IPC分类号 ：
G01S17/48 H01L27/146
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01S
无线电定向；无线电导航；采用无线电波测距或测速；采用无线电波的反射或再辐射的定位或存在检测；采用其他波的类似装置
G01S17/00
应用除无线电波外的电磁波的反射或再辐射系统，例如，激光雷达系统
G01S17/02
应用除无线电波外的电磁波反射的系统
G01S17/06
测定目标位置数据的系统
G01S17/46
位置数据的间接测量
G01S17/48
有源三角测量系统，即用除了无线电波之外的其他电磁波的发射和反射
法律状态
2021-08-31 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
