一种用于PECVD腔室的绝缘螺栓

专利申请权、专利权的转移

摘要

本实用新型公开了一种用于PECVD腔室的绝缘螺栓，包括螺栓主体和绝缘螺帽，所述螺栓主体的头部端面中心钻设带有内螺纹的螺孔，所述绝缘螺帽一体成型带有外螺纹的锁紧螺杆，所述锁紧螺杆的外螺纹与螺孔的内螺纹相适配，所述绝缘螺帽通过锁紧螺杆与螺孔嵌入在螺栓主体上面。本实用新型不仅具有普通螺栓坚固，可支撑石英零件等特点，且在螺栓主体上设有绝缘螺帽，避免了PECVD启辉过程，裸露的螺栓成为局部的电极辉光点，分散了等离子镀膜区域，绝缘螺帽保护螺栓主体避免其在高温下熔融变形，又不会在真空腔室内参与气体反应，污染腔室，使得PECVD设备在高功率、高气压的条件下能稳定辉光镀膜，保证镀膜质量，具有较强的实用性。

基本信息

专利标题：

一种用于PECVD腔室的绝缘螺栓

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202021929756.1

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-09-07

授权号：

CN213176386U

授权日：

2021-05-11

发明人：

林锦山谢志刚王树林廖培灿

申请人：

福建钧石能源有限公司

申请人地址：

福建省泉州市鲤城区南环路高新技术园区

代理机构：

代理人：

优先权：

CN202021929756.1

主分类号：

F16B35/02

IPC分类号：

F16B35/02 F16B33/00