本实用新型公开的属于存储装置技术领域，具体为一种半导体设备用隔离纸存储装置，包括箱体、固定隔板和控制器，所述箱体顶部设置有箱盖，所述箱体外壁设置有防水膜，所述箱体内壁设置有吸水层，通过在箱体外壁设置防水膜内壁设置吸水层，可以保障箱体外部的防水性和内部的干燥，为隔离纸提供干燥的存储环境；在箱体内腔设置温湿度传感器，能够实时监测箱体内部温湿度情况，当温湿度过高时，温湿度传感器会反馈给控制器，接着控制器会处理反馈信息给出指令，打开密封盖和风机，对箱体内部进行除湿降温，当温湿度达到标准时，控制器会通过电源关闭风机和密封盖，保证内部的密封性，整个工作过程不需要人工操作，设备整体更加智能，节省人力。