一种便于清洁和收集废料的ITO靶材装置
授权
摘要
本实用新型属于IT0靶材装置技术领域，尤其为一种便于清洁和收集废料的ITO靶材装置，包括收集槽和安装栏，所述收集槽的外侧安装有第一电机，且第一电机的外侧连接有第一转轮，所述第一转轮的外侧设置有传动带，且传动带的内侧设置有第二转轮，所述第二转轮的外侧连接有转动轴，且转动轴的外侧连接有过滤板，所述收集槽的内部设置有夹板，且夹板的内侧设置有第一弹簧，并且第一弹簧的上端连接有滑板，所述安装栏设置于收集槽的上方，且安装栏的上方安装有第二电机，所述第二电机的外侧连接有螺纹杆，且螺纹杆的外侧连接有移动板，所述移动板的下方连接有伸缩杆。该便于清洁和收集废料的ITO靶材装置，具备废料收集功能，且可以对装置自身进行清理。
基本信息
专利标题 ：
一种便于清洁和收集废料的ITO靶材装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021958483.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-09
授权号 ：
CN214234880U
授权日 ：
2021-09-21
发明人 ：
葛春桥崔恒
申请人 ：
中山智隆新材料科技有限公司
申请人地址 ：
广东省中山市板芙镇居委会板芙北路17号四海酒店A栋三楼D301（住所申报）
代理机构 ：
深圳市海盛达知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
赵雪佳
优先权 ：
CN202021958483.3
主分类号 ：
B07B1/04
IPC分类号 ：
B07B1/04 B07B1/50 B08B1/04
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B07
将固体从固体中分离；分选
B07B
用细筛、粗筛、筛分或用气流将固体从固体中分离；适用于散装物料的干式分离法，如适于像散装物料那样处理的松散物品的分离
B07B1/00
用网，滤筛，格栅或其他类似的工具细筛、粗筛、筛分或分选固体物料
B07B1/04
固定平筛
法律状态
2021-09-21 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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