本实用新型公开了一种碳化硅外延反应室源气进气过渡部件，由于第一本体和第二本体相嵌合配合，由于淀积生长过程中会产生大量高温的附属物粉尘和颗粒吸附在源气进气过渡部件内，因此，当位于后端的第二本体淀积的粉尘和颗粒较厚时，可仅更换第二本体，使用更加方便且降低了成本；且，由于第一隔板和第二隔板可分别在第一本体和第二本体内活动，可根据实际需要随时调整第一隔板和第二隔板的位置进而调整第一通道和第二通道的流量以使工艺气体在进入反应室时可混合的更加均匀。同时，第一定位组件可定位第一隔板与第一本体，第二定位组件可定位第二隔板和第二本体，稳定性更好，第一隔板和第二隔板不会由于气流的大小进行晃动或移位。