光罩保护装置
专利申请权、专利权的转移
摘要
本实用新型实施例提供一种光罩保护装置，涉及半导体技术领域。光罩保护装置包括光罩掩模板、框架和光罩保护膜，框架的一侧连接在光罩掩模板的侧面上，光罩保护膜连接在框架的另一侧，光罩保护膜为刚性透明膜。这样，光罩保护膜使用寿命长，不易损坏，不易产生污染气体，避免膜雾化发霉，能够提高产品良率，降低生产成本。
基本信息
专利标题 ：
光罩保护装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022086697.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-21
授权号 ：
CN212749518U
授权日 ：
2021-03-19
发明人 ：
简永浩郑怀志蔡奇澄萧志伟
申请人 ：
泉芯集成电路制造(济南)有限公司
申请人地址 ：
山东省济南市高新区机场路7617号411-2-9室
代理机构 ：
北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
严诚
优先权 ：
CN202022086697.2
主分类号 ：
G03F1/62
IPC分类号 ：
G03F1/62
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F1/00
用于图纹面的照相制版的原版，例如掩膜，光掩膜；其所用空白掩膜或其所用薄膜；其专门适用于此的容器；其制备
G03F1/62
薄膜或薄膜集合，例如在支持框架上具有薄膜；其制备
法律状态
2021-07-16 ：
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移IPC(主分类) : G03F 1/62
登记生效日 : 20210702
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 泉芯集成电路制造(济南)有限公司
变更后权利人 : 泉意光罩光电科技（济南）有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 250000 山东省济南市高新区机场路7617号411-2-9室
变更后权利人 : 250000 山东省济南市高新区经十路7000号汉峪金融商务中心A4-(4)办公楼九层904室
登记生效日 : 20210702
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 泉芯集成电路制造(济南)有限公司
变更后权利人 : 泉意光罩光电科技（济南）有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 250000 山东省济南市高新区机场路7617号411-2-9室
变更后权利人 : 250000 山东省济南市高新区经十路7000号汉峪金融商务中心A4-(4)办公楼九层904室
2021-03-19 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
