一种高粘度光刻胶无胶丝匀胶装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种高粘度光刻胶无胶丝匀胶装置,包括箱体和盖板,所述箱体与盖板转动连接,所述箱体内部固定连接有集料桶,所述集料桶的一端固定连接有导流管,所述箱体的一侧贯穿开设有与导流管相适配的圆孔,所述箱体一侧固定连接有放置座,所述放置座内部放置有收集盒,所述放置座内部开设有与收集盒相适配的活动槽,所述导流管在箱体外侧的一端延伸至收集盒内部,所述箱体底部固定连接有匀胶电机。本实用新型涉及匀胶装置技术领域,通过集料桶底部的坡度将因硅片转动而溅出的光刻胶导入导流管内部,通过导流管将光刻胶导入收集盒内部,即可对光刻胶进行收集,并对导流管收集的光刻胶进行再次使用,减少了光刻胶的浪费。
基本信息
专利标题 :
一种高粘度光刻胶无胶丝匀胶装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202022099989.X
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-09-23
授权号 :
CN214077599U
授权日 :
2021-08-31
发明人 :
全金花全金星张军区
申请人 :
无锡亚迈微电子有限公司
申请人地址 :
江苏省无锡市滨湖区万达文化旅游城12-1206
代理机构 :
南京北辰联和知识产权代理有限公司
代理人 :
王俊
优先权 :
CN202022099989.X
主分类号 :
B05C13/02
IPC分类号 :
B05C13/02 B05C11/08 B05C11/10
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B05
一般喷射或雾化;对表面涂覆流体的一般方法
B05C
一般对表面涂布流体的装置
B05C13/00
操纵或夹持工件的方法,如对单个物体
B05C13/02
对特殊物品
法律状态
2021-08-31 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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