一种具有绝缘功能的靶材垫块
授权
摘要
本实用新型公开了一种具有绝缘功能的靶材垫块，涉及靶材垫块领域，针对现有的靶材在进行加工的过程中对稳定性要求较高，普通的垫块不具备固定功能，且不具备绝缘效果，对靶材溅射成膜具有影响，同时存在安全隐患的问题，现提出如下方案，其包括工作台，所述工作台内部设置有滑杆，所述滑杆的表面安装有强力弹簧，所述工作台内部设置有分隔板，所述强力弹簧的一端安装在工作台内部表面。本实用新型结构新颖，且垫块配备有第一限位块和第二限位块对靶材进行固定，同时采用强力弹簧等机械结构辅助夹紧，减少事故率，垫块采用绝缘材料制成，保证使用者的安全，且垫块中心处设置有凹槽辅助靶材固定，同时在工作台上设置有多个垫块，提高工作效率。
基本信息
专利标题 ：
一种具有绝缘功能的靶材垫块
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022141040.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-26
授权号 ：
CN213266682U
授权日 ：
2021-05-25
发明人 ：
李献忠李双江何洪涛何聪
申请人 ：
深圳市信亿德科技有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市光明新区玉塘街道同观路远望谷射频识别产业园2栋7楼
代理机构 ：
深圳市优一知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
杨芳
优先权 ：
CN202022141040.1
主分类号 ：
C23C14/34
IPC分类号 ：
C23C14/34
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
法律状态
2021-05-25 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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