一种适于半导体晶片储蓄花篮输送线的翻转臂
授权
摘要
本实用新型公开了一种适于半导体晶片储蓄花篮输送线的翻转臂，包括花篮夹爪和连接花篮夹爪的夹爪臂；花篮夹爪包括支撑板和设置在支撑板两侧的伸缩装置；伸缩装置的推杆端连接花篮夹紧板；夹爪臂包括上基板和下基板；上基板和下基板间通过固定架连接；上基板上设有丝杆驱动电机，丝杆驱动电机连接丝杆；丝杆上设有丝杆螺母；丝杆螺母连接定位板；下基板上设有中空法兰盘减速机，中空法兰盘减速机的旋转面连接支撑板，中空法兰盘减速机可驱动支撑板旋转。针对现有半导体晶片花篮的结构，做出适应性调整，解决现有技术中，无针对半导体晶片花篮的结构，实现花篮稳定翻转的问题。
基本信息
专利标题 ：
一种适于半导体晶片储蓄花篮输送线的翻转臂
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022217129.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-30
授权号 ：
CN213340321U
授权日 ：
2021-06-01
发明人 ：
杨鹏飞金华杨黎明
申请人 ：
无锡市泰瑞电子设备制造有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市惠山区阳山镇杨木桥村
代理机构 ：
北京德崇智捷知识产权代理有限公司
代理人 ：
季承
优先权 ：
CN202022217129.1
主分类号 ：
H01L21/677
IPC分类号 ：
H01L21/677
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/677
用于传送的，例如在不同的工作站之间
法律状态
2021-06-01 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
