电子功率器件

授权

摘要

本公开的各实施例涉及一种电子功率器件。该电子功率器件包括碳化硅(SiC)的衬底，该衬底具有前表面和后表面，该前表面和后表面位于水平面中，并且沿着横向于该水平面的竖直轴线彼此相对。衬底包括有源区和边缘区，该有源区中设置有多个掺杂区域，该边缘区是非有源的，与有源区不同并且围绕有源区。至少在边缘区中，介电区域被布置在前表面上方。钝化层被布置在衬底的前表面上方，并且在边缘区中与介电区域接触。钝化层包括至少一个锚固区域，这些锚固区域在边缘区处延伸穿过介电区域的厚度，以便限定用于钝化层的机械锚固。根据本公开的电子功率器件提供了在由于热循环引起的热机械应力方面的较高的鲁棒性。

基本信息

专利标题：

电子功率器件

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202022224538.4

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-10-05

授权号：

CN213124449U

授权日：

2021-05-04

发明人：

S·拉斯库纳C·基布阿罗A·瓜尔内拉M·G·萨吉奥F·利齐奥

申请人：

意法半导体股份有限公司

申请人地址：

意大利阿格拉布里安扎

代理机构：

北京市金杜律师事务所

代理人：

董莘

优先权：

CN202022224538.4

主分类号：

H01L29/861

IPC分类号：

H01L29/861 H01L29/06 H01L21/329