一种磁控溅射环热处理工装
授权
摘要
本实用新型公开了属于磁控溅射靶材制造领域的一种磁控溅射环热处理工装；其中三个单孔夹持组和双孔夹持组通过筋板呈环形安装于料盘的上端面；溅射环环体上开有五个安装孔，其中两个安装孔位于矩形开口的两侧；溅射环环体中位于矩形开口的两侧的两个安装孔通过销轴安装于双孔夹持组内，不位于矩形开口的两侧的其余三个安装孔通过销轴安装于单孔夹持组内。本实用新型相比于无工装时溅射环自然平铺或叠加放置，使用热处理工装可实现逐层叠放，可充分利用炉膛空间，提高热处理效率，节约了生产成本。通过与溅射环的五点接触式重叠装配，有效保护了成品环体的滚花表面，环体受热均匀，不易变形。
基本信息
专利标题 ：
一种磁控溅射环热处理工装
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022239700.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-10-10
授权号 ：
CN213388818U
授权日 ：
2021-06-08
发明人 ：
张晓娜张延宾曹晓萌李利利宋泽鹏李勇军肖长朋李嘉
申请人 ：
有研亿金新材料有限公司
申请人地址 ：
北京市昌平区超前路33号
代理机构 ：
北京众合诚成知识产权代理有限公司
代理人 ：
黄家俊
优先权 ：
CN202022239700.X
主分类号 ：
C21D9/40
IPC分类号 ：
C21D9/40 C21D1/26 C21D1/773 C23C14/35
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C21
铁的冶金
C21D
改变黑色金属的物理结构；黑色或有色金属或合金热处理用的一般设备；使金属具有韧性，例如通过脱碳或回火
C21D9/00
热处理，例如适合于特殊产品的退火、硬化、淬火或回火；所用的炉子
C21D9/40
用于环；轴承座圈
法律状态
2021-06-08 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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