本实用新型提供了一种光刻机用上版夹具，属于光刻机技术领域。该光刻机用上版夹具包括曝光机构、定位机构和真空机构。所述曝光机构包括第一箱体，所述第一箱体内表面开设有插孔，所述插孔设置为两个，所述定位机构包括支板、液压缸、第二箱体、驱动组件和滑动组件，所述驱动组件包括电机、第一圆锥齿轮、第二圆锥齿轮和螺纹杆。本实用新型通过液压缸、第二箱体、真空吸盘、电机、第一圆锥齿轮、第二圆锥齿轮、螺纹杆、滑块、真空泵、总进气管和分进气管的作用，从而达到了便于定位和夹持不同大小铬版的目的，可根据不同大小的铬版调整吸盘的位置，便于对铬版进行定位的同时，可夹持不同大小的铬版，省时省力，提高生产率。