一种光刻机掩膜版的智能存取方法
公开
摘要
本发明公开了一种光刻机掩膜版的智能存取方法，包括以下步骤：S1、提供一个智能存取装置；S2、将各种规格的掩膜版放置在对应的掩膜版盒中；S3、将各掩膜版盒放入到对应的收纳盒中，其对应关系通过操作面板进行存储；S4、抽气风机启动；S5、从操作面板中输入所要取出掩膜版的规格；S6、电控柜驱动顶推机构移动到收纳盒的后方；S7、顶推机构动作将该收纳盒推出；S8、取出该收纳盒中的掩膜版盒并关闭收纳盒。该智能存取方法能够更好更迅速的存取掩膜版，避免灰尘的附着，避免掩膜版放错。
基本信息
专利标题 ：
一种光刻机掩膜版的智能存取方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114287753A
申请号 ：
CN202111515215.3
公开（公告）日 ：
2022-04-08
申请日 ：
2021-12-13
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
牛立久张雪奎刘增增周一雷徐金鑫
申请人 ：
山东华楷微电子装备有限公司
申请人地址 ：
山东省日照市日照高新区高新六路17号日照智慧微电产业园（高新六路与艳阳路交汇处）
代理机构 ：
苏州金项专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
金星
优先权 ：
CN202111515215.3
主分类号 ：
A47B81/00
IPC分类号 ：
A47B81/00 A47B67/04 A47B88/453 A47B97/00
IPC结构图谱
A
A部——人类生活必需
A47
家具；家庭用的物品或设备；咖啡磨；香料磨；一般吸尘器
A47B
桌子；写字台；办公家具；柜橱；抽屉；家具的一般零件
A47B81/00
专门适用于其他特殊用途的柜橱、架或搁板组件，例如存放枪支或滑雪橇
法律状态
2022-04-08 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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