一种光刻机掩膜版盒的储存柜
授权
摘要
本实用新型公开了一种光刻机掩膜版盒的储存柜，包括柜体柜体被分隔成上腔体、中间腔体和下腔体，中间腔体被分隔为前腔体和后腔体，前腔体内抽拉安装有收纳盒，收纳盒的前板面上均设置有标签纸，后腔体内安装有过滤器，所述后腔体上设置有进气口，所述下腔体上设置有抽气风机，所述抽气风机的进气口与后腔体联通，所述抽气风机的出气口与前腔体连通，所述前腔体与上腔体连通，所述上腔体上设置有排气口，所述上腔体上设置有用于检测腔体内部温度和湿度的温湿度传感器。该储存柜可以更好的储存掩膜版盒，方便掩膜版盒的寻找，避免空间中的灰尘污染掩膜版盒。
基本信息
专利标题 ：
一种光刻机掩膜版盒的储存柜
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123120949.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-13
授权号 ：
CN216469320U
授权日 ：
2022-05-10
发明人 ：
牛立久张雪奎刘增增周一雷徐金鑫
申请人 ：
山东华楷微电子装备有限公司
申请人地址 ：
山东省日照市日照高新区高新六路17号日照智慧微电产业园（高新六路与艳阳路交汇处）
代理机构 ：
苏州金项专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
金星
优先权 ：
CN202123120949.X
主分类号 ：
B65D25/02
IPC分类号 ：
B65D25/02 B65D25/04 B65D6/06 B65D25/20 B65D81/18 B65D79/02 B65D85/86 G03F1/66
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B65
输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料
B65D
用于物件或物料贮存或运输的容器，如袋、桶、瓶子、箱盒、罐头、纸板箱、板条箱、圆桶、罐、槽、料仓、运输容器；所用的附件、封口或配件；包装元件；包装件
B65D25/00
其他种类或形式的刚性或半刚性容器的零部件
B65D25/02
内部配件
法律状态
2022-05-10 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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