掩膜版、基于掩膜版的拼接曝光方法
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摘要

本申请实施例提供了一种掩膜版、基于掩膜版的拼接曝光方法,该掩膜版应用于阵列基板上的多个连续排布的单元区的拼接曝光,掩膜版包括透明基板,透明基板上设置有主遮光部和两个侧遮光部。一个侧遮光部、主遮光部和另一个侧遮光部沿第一方向依次连接。每个侧遮光部内设置有透光区,透光区在第二方向上的尺寸大于主遮光部在第二方向上的尺寸,且第一方向与第二方向之间呈指定夹角。掩膜版的主遮光部和侧遮光部分别与对应的单元区正对,在曝光机进行曝光之前,设置曝光机的遮光板不遮挡侧遮光部的透光区,透光区正对的单元区中的子区域便可以被曝光机照射,该子区域中的光刻胶和金属层能够被去除,阵列基板的走线在该子区域被切断,形成走线的断口。

基本信息
专利标题 :
掩膜版、基于掩膜版的拼接曝光方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN109541883A
申请号 :
CN201910016944.0
公开(公告)日 :
2019-03-29
申请日 :
2019-01-08
授权号 :
CN109541883B
授权日 :
2022-06-14
发明人 :
李彦辰李月李娜王海龙李金钰
申请人 :
京东方科技集团股份有限公司;北京京东方光电科技有限公司
申请人地址 :
北京市朝阳区酒仙桥路10号
代理机构 :
北京市立方律师事务所
代理人 :
张筱宁
优先权 :
CN201910016944.0
主分类号 :
G03F1/38
IPC分类号 :
G03F1/38  G03F7/22  
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IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F1/00
用于图纹面的照相制版的原版,例如掩膜,光掩膜;其所用空白掩膜或其所用薄膜;其专门适用于此的容器;其制备
G03F1/38
具有辅助特征的掩膜,例如用于校准或测试的特殊涂层或标记;其制备
法律状态
2022-06-14 :
授权
2019-04-23 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G03F 1/38
申请日 : 20190108
2019-03-29 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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