掩膜板的存储装置及曝光机
授权
摘要
本实用新型提供一种掩膜板的存储装置及曝光机，掩膜板的存储装置包括底座、盒盖和传感组件，盒盖与底座共同围成用于容纳掩膜板的容纳空间，传感组件用于感知容纳空间内是否存在掩膜板；传感组件包括传感器和调整机构，传感器位于底座上并处于容纳空间内；调整机构位于底座和/或盒盖上，调整机构用于调节传感器的位置，以使传感器位于掩膜板的覆盖范围内。本实用新型提供掩膜板的存储装置可以在不打开盒盖的状态下，调节掩膜板的位置，省时和省力，且不易污染和损伤掩膜板。
基本信息
专利标题 ：
掩膜板的存储装置及曝光机
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020401452.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-03-26
授权号 ：
CN211403118U
授权日 ：
2020-09-01
发明人 ：
慕绍帅王冀星陈建胡仁卜刘良军张其伟
申请人 ：
成都中电熊猫显示科技有限公司
申请人地址 ：
四川省成都市双流区公兴街道青栏路1778号
代理机构 ：
北京同立钧成知识产权代理有限公司
代理人 ：
弋梅梅
优先权 ：
CN202020401452.1
主分类号 ：
G03F1/66
IPC分类号 ：
G03F1/66
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F1/00
用于图纹面的照相制版的原版，例如掩膜，光掩膜；其所用空白掩膜或其所用薄膜；其专门适用于此的容器；其制备
G03F1/66
专门适用于掩膜，空白掩膜或薄膜的容器；其制备
法律状态
2020-09-01 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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