掩膜板修复方法及掩膜板组件
实质审查的生效
摘要

本发明提供了一种掩膜板修复方法及掩膜板组件,掩膜板修复方法包括将掩膜板主体与基板对位,之后检测掩膜板上开口的偏位情况,检测步骤包括:对位检测设备抓取掩膜板主体上的开口边缘坐标,将开口边缘坐标与存储器中相应的预设开口边缘坐标进行比对,根据开口边缘坐标与预设开口边缘坐标的比对结果获取开口边缘与相应的预设开口边缘之间的偏位情况,其中,开口的偏位情况包括开口边缘位于相应的预设开口边缘的内侧以及开口边缘位于相应的预设开口边缘的外侧,之后根据掩膜板上开口的偏位情况进行处理以使得开口符合预设开口标准。该掩膜板修复方法能够修复掩膜板上开口的偏位问题,避免制作的目标膜层失效的问题。

基本信息
专利标题 :
掩膜板修复方法及掩膜板组件
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114361374A
申请号 :
CN202111667532.7
公开(公告)日 :
2022-04-15
申请日 :
2021-12-31
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
李妍妍王腾雨戴伟杰郭盈盈
申请人 :
云谷(固安)科技有限公司
申请人地址 :
河北省廊坊市固安县新兴产业示范区
代理机构 :
上海晨皓知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
成丽杰
优先权 :
CN202111667532.7
主分类号 :
H01L51/56
IPC分类号 :
H01L51/56  H01L51/52  
法律状态
2022-05-03 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 51/56
申请日 : 20211231
2022-04-15 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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