掩膜版组件
公开
摘要
本发明提供了一种掩膜版组件，包括：外框架；与外框架固定的第一掩膜条，第一掩膜条沿第一方向延伸；分别与外框架和第一掩膜条固定的第二掩膜条，第二掩膜条沿不同于第一方向的第二方向延伸，第一掩膜条和第二掩膜条形成多个非对称分布的开口；其中，第一掩膜条在垂直于第一掩膜条的主表面的第三方向上具有不同的宽度，第一掩膜条在远离外框架的一侧宽度大于靠近外框架的一侧的宽度，且第一掩膜条在第三方向上的厚度大于预设值。通过本发明的掩膜版组件，提高第一掩膜条的强度，改善掩膜版组件因为受到非对称力，导致第一掩膜条发生形变的问题，从而提高产品的良率和可靠性。
基本信息
专利标题 ：
掩膜版组件
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114597245A
申请号 ：
CN202210206058.6
公开（公告）日 ：
2022-06-07
申请日 ：
2022-02-28
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
王彤李金川
申请人 ：
深圳市华星光电半导体显示技术有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市光明新区公明街道塘明大道9-2号
代理机构 ：
深圳紫藤知识产权代理有限公司
代理人 ：
蔡艾莹
优先权 ：
CN202210206058.6
主分类号 ：
H01L27/32
IPC分类号 ：
H01L27/32 C23C14/04 C23C14/24
法律状态
2022-06-07 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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